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在半導體器件生產(chǎn)車(chē)間,由于塵埃吸附在芯片上,尤其是超大規模集成電路的成品率會(huì )大大下降。生產(chǎn)車(chē)間操作人員都穿潔凈工作服,若人體帶靜電,則極易吸附塵埃、污物等,若這些塵埃、污物被帶到操作現場(chǎng)的話(huà),將影響產(chǎn)品質(zhì)量,惡化產(chǎn)品性能、大大降低成品率。如果吸附的灰塵粒子的半徑大于線(xiàn)條寬度約時(shí),薄膜厚度在下時(shí),則最易使產(chǎn)品報廢。

所以在的加工生產(chǎn)和封裝過(guò)程中建立起靜電防護系統是很有必要的IC封裝生產(chǎn)線(xiàn)對靜電的要求更為嚴格。為了保證生產(chǎn)線(xiàn)的正常運行,對其潔凈廠(chǎng)房進(jìn)行防靜電建筑材料的整體裝修,對進(jìn)出潔凈廠(chǎng)房的所有人員配備防靜電服裝等采取硬件措施外,封裝企業(yè)可根據國家有關(guān)標準和本企業(yè)的實(shí)際隋況制定出在防靜電方面的企業(yè)標準或具體要求,來(lái)配合封裝生產(chǎn)線(xiàn)的正常運轉。

由于即除塵又除靜電的設備品種較多,如何選擇適合自己的產(chǎn)品主要根據生產(chǎn)線(xiàn)上的狀況來(lái)決定。以下介紹幾種即除塵又除靜電的設備:

1、離子風(fēng)槍?zhuān)核奶攸c(diǎn)是手持式的,操作方式很隨意,它比較適合用在檢驗部位,檢驗者看到那里有灰塵只要拿起風(fēng)槍吹一下就可以了。

2、離子風(fēng)嘴:它是固定式的產(chǎn)品,體積小,不占地方,它比較適合流水線(xiàn)上或部分空間狹小的工位。也可以做成腳踏式和感應式。

3、離子風(fēng)蛇:它有三種款式:普通式、感應式和腳踏式,可以滿(mǎn)足客戶(hù)生產(chǎn)現場(chǎng)不同環(huán)境的需要。適合用在有空間放置,無(wú)需人員操作,但需要經(jīng)常調整吹塵方向的工位。

除以上產(chǎn)品在部分流水線(xiàn)和操作工位上還需裝離子風(fēng)機,從而降低靜電的累積,避免產(chǎn)品在不知不覺(jué)中被擊穿。可以選用我司的懸掛式離子風(fēng)機,消電面積大,不占用工作空間,可以根據工作臺的大小或流水線(xiàn)的寬度來(lái)選擇。

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